运动自由度

X、Z

X、Z

驱动控制

2路驱动，2路传感

2路驱动

标称行程范围（0 ~+120 V）

X:16, Z:6

X:16, Z:6

μm±10%

Max.行程范围（0~+150 V）

X:18, Z:8

X:18, Z:8

μm±10%

传感器类型

SGS

-

闭/开环分辨率

X0.6 Z0.2

X0.2 Z0.1

nm

闭环线性度

X:0.3, Z:1

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.25

-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

≤15

≤15

μrad

空载谐振频率

X2/Z1

X2/Z1

KHz±20%

闭/开环空载阶跃时间

8

0.5

ms±20%

承载能力

0.5

0.5

kg

静电容量

X:1.8, Z0.8

X:1.8, Z0.8

μF±20%

工作温度范围

-20~80

-20~80

°C

材质

铝

铝

出线长

1.5

1.5

m±10mm