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常用溅射靶材的选择

来源:广州竞赢化工科技有限公司2024/12/22 10:15:3028
导读:

Gold

黄金靶Au

SEM镀膜中使用泛的一种靶材,非常适合于冷态溅射的镀膜仪(如108系列)使用,对热敏性样品不会产生伤害。但在高倍SEM下,可以看到金属颗粒。

Gold/Palladium

金钯合金靶Au/Pd

溅射率比纯黄金靶的低. 在蒸发镀膜时,颗粒比纯Au的要小。不是很适合热敏性样品镀膜和EDS分析镀膜(由于有两个镀膜材料峰值)。

Palladium

钯靶Pd

在低放大倍数时,可做低成本镀膜材料使用。较低的SE信号.

Platinum

铂靶Pt

金属颗粒细,但比AU的溅射率要低。容易产生应力断裂现象。价格贵,SE产率高。适合FESEM

Platinum/Palladium

铂钯合金Pt/Pd

颗粒大小和Pt差不多,但应力断裂的敏感度要低些。非常适合FESEM.

Silver

银靶Ag

低放大倍数时的一种低成本靶材. 颗粒比AU大,适合台式SEM使用。低SE产率。如果样品没有在真空环境下保存,则会有氧化变色。适合EDS使用。

Chromium

铬靶Cr

非常细的颗粒,适合FESEM。为防止氧化,需要在如208HR等高真空环境下镀膜。镀膜后的样品需要存放在高真空环境中。非常适合生物样品的BE成像。溅射产率低。

Iridium

铱靶Ir

非常细的颗粒,对于FESEM样品来说,是一种很好的性镀膜材料。需要在208HR等高真空镀膜仪上镀膜,溅射速率慢。

Tungsten

钨靶W

可替代Cr,非常细的颗粒,但氧化速度非常快。低溅射产率。

Nickel

镍靶Ni

可用在EDS上,不适合SE成像,适合BE成像。低溅射产率。镀膜易氧化。

Copper

铜靶Cu

可用在EDS上,适合中低放大倍数SEM使用。

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