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热偶真空计利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
工作原理
热电偶接在白金或钨的细线上。这段细线通过电流后会发热。发出的热量通过周围气体分子的热传导,或细线本身的固体热传导,或热辐射放出。利用气体分子承担的热传导量与压力成正比的点是此真空计的原理。

如果保持细线的发热量即保持定的电流,则周围压力的时候气体夺走的热量较多,致使细线的温度较低。反过来周围压力低的时候细线的温度会升。这种温度的变化通过热电偶检测出来,将热电偶的起电力换成压力之后即可知真空腔内的压力。
征
利用气体分子的热传导现象，可能测量的压力范围在1~300Pa之间。热电偶真空计测得细线温度同时,也受到细线本身的固体热传导和热辐射放热的影响。因此精度不。但是电路简单，价格低廉。

另外此真空计在大气压状态下也不会烧损。而且测得的压力值通过电信号被取出，因此在自动控制方面容易控制。