当前,微型零件的加工主要有光刻加工和机械加工两种方法。光刻加工是以半导体制作技能为根底,用于微电机体系(Micro Electro-mechanical Systems--MEMS)的制作。光刻技能尽管较为老练,但存在被加工资料种类单一、加工设备贵重等疑问,且只能加工布局简略的二维或准三维零件,无法进行杂乱三维微型零件的加工。
微型机床(Micro Machine Tools--MMT)和微加工(Micro Machining--MM)是将传统加工技能及装备微型化,并用于微型零件批量出产的技能,也就是用小机床加工小工件的技能。微加工通常是指微型机床加工工件标准范围在100~10mm、加工精度范围在0.1~1的金属或塑料零件的非光刻加工技能。桌面工厂(Desktop Factory--DTF)是由微型机床、微型机械手和运送设备等组成的细小化工厂。微型机床和桌面工厂开展的进程和不一样时代的典型产物如图3所示。
微型机床因为体积小、惯性质量小、发热量小,因而具有能耗低、柔性大、效率高的长处,能够减小微型设备出产线的全体系标准规划,既能够节约能源又能够节约制作空间和资源,契合节能、环保的需求,是绿色制作的开展方向之一。
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