PHASCOPE PMP10 DUPLEX膜厚仪技术参数
双涂层PHASCOPE® PMP10 DUPLEX测厚仪
特点
技术参数
测量方法 | 磁感应法 | 相位敏感电涡流法 | 振幅敏感法 |
测量模式 |
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测量应用 | NE/Fe | Iso/Zn/Fe | so/NE |
量程 | 0-700µm | Iso 0-550µm Zn 0-150µm | 0-2000 µm |
精度(菲希尔标准) | 0-100 µm ≤ 1 µm 100-400 µm ≤ 1 % 400-700 ≤ 2% | Zn 2-30 µm ≤ 0.5 µm Iso 2-100 µm ≤ 1 µm Iso 100-500 µm ≤ 1% | 5-100 µm ≤ 2 µm 100-2000 µm ≤ 2 % |
重复精度(菲希尔标准) | 0-100 µm ≤ 0.5 µm 100-700 µm ≤ 0.5% | Iso 2-100 µm ≤ 0.5 µm Iso 100-500 µm ≤ 0.5 % | 5-100 µm ≤ 0.5 µm 100-2000 µm ≤ 0.5 % |
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