表面形貌仪可用于物体表面三维形貌和变形测量。由于该系统既可配备10倍变焦远距离显微成像镜头，也可配备普通变焦镜头，使得该系统能同时满足细观及宏观的测量要求。该仪器不仅可用于微电子、生物、微机械等微细结构的形貌及变形测量，也可用于混凝土结构、岩土试样等大型构件表面形貌和变形测量。适用于科研院所、大专院校、计量机构和企业计量室、车间。
使用优势：
表面形貌仪是一款高速的三维形貌仪，Zui高扫描速度可达1m/s，采用白光共聚焦技术，可实现对材料表面从纳米到毫米量级的粗糙度测试，具有测量精度高，速度快，重复性好的优点，该仪器可用于测量大尺寸样品或质检现场使用。
产品特性：
1、采用白光共聚焦色差技术，可获得纳米级的分辨率。
2、测量具有非破坏性，测量速度快，精确度高。
3、测量范围广，可测透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料。
4、尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面。
5、不受样品反射率的影响。
6、不受环境光的影响。
7、测量简单，样品无需特殊处理。
表面形貌仪常用技术：
1、扫描电子显微镜：扫描电子显微镜利用聚焦得非常细的电子束作为电子探针。当探针扫描被测表面时，二次电子从被测表面激发出来，二次电子的强度与被测表面形貌有关，因此利用探测器测出二次电子的强度，便可处理出被测表面的几何形貌。
2、机械探针式测量：探针式轮廓仪测量范围大，测量精度高，但它是一种点扫描测量，测量费时。机械探针式测量方法是开发较早、研究充分的一种表面轮廓测量方法。它利用机械探针接触被测表面，当探针沿被测表面移动时，被测表面的微观凹凸不平使探针上下移动，其移动量由与探针组合在一起的位移传感器测量，所测数据经适当的处理就得到了被测表面的轮廓。机械探针是接触式测量，易损伤被测表面。
3、光学探针式测量：光学探针式测量方法原理上类似于机械探针式测量方法，只不过探针是聚集光束。根据采用的光学原理不同，光学探针可分为几何光学原理型和物理光学原理型两种。几何光学探针利用像面共轭特性来检测表面形貌,，有共焦显微镜和离焦检测两种方法：物理光学探针利用干涉原理通过测量程差来检测表面形貌，有外差干涉和微分干涉两种方法。光学探针是非接触测量,，但需要一套高精度的调焦系统。