实验原理：
纳米压痕仪技术又称深度敏感压痕技术，它经过核算机控制载荷连续变化，并在线监测压入深度。-一个完好的压痕进程包含两个进程，即所谓的加载进程与卸载进程。在加载进程中，给压头施加外载荷，使之压入样品外表，跟着载荷的增大，压头压入样品的深度也随之增加，当载荷抵达zui大值时，移除外载，样品外表会存在残留的压痕痕迹。
随着实验载荷的不断增大，位移不断增加，当载荷抵达zui大值时，位移亦抵达zui大值即zui大压痕深度maxh；随后卸载，位移zui终回到一固定值，此刻的深度叫残留压痕深度rh，也便是压头在样品上留下的永jiu塑性变形。
纳米压痕仪主要用于微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量测试，测试结果通过力与压入深度的曲线计算得出，无需通过显微镜观察压痕面积。
纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性薄膜等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等。
技术特点：
整个系统的标定可以由用户独立完成。同时，基于系统稳定性，可以确保用户对他们的测试结果非常自信。
用户可以快速、便捷的在不同测试模块间进行切换，这保证了系统在时间上的利用率。
软件系统提供了大量的可选参数，让用户可以大限度的灵活设定实验设计。
750℃的高温测量
在高达750℃的高温环境中进行真正的深度感测的纳米压痕测试。
同时加热压头和样品，确保压痕测试过程中压头和样品是等温接触，无热传导。
液体测量池
模拟活体或其他润滑/液体服役环境中的测量。液体可以加热到人体温度。
加载-部分卸载技术
在几分钟内生成硬度、模量随深度变化的曲线。这一测量技术是压痕测试模块中的标准配置。