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　　介绍pH测量是半导体工厂里对许多工艺过程进行监控的重要部分。pH测量zui常用于反渗透系统(通常被称作“pre-RO”)、回收系统、冷却塔、洗涤器和工厂污水处理系统中对水进行的预处理过程。因为工厂的各类应用存在许多不同，所以选择pH探头难度很大。这篇论文概述了各种应用，以及pH测量有可能出现的难题，并且针对单个应用使用pH电极。 pH电极pH测量包含两种基本电极– 测量和参比电极。目前市场上已经有非常多的测量和参比电极，因此就很难作出选择。要选择电极需要考虑到诸多因素，例如化学成分、流速、温度、pH范围和污染物等级。当今半导体工业应用的有三种基本测量电极–玻璃电极、锑电极和离子敏感场效应晶体管(ISFET)电极，和许多不同种类的参比电极。本文中着重涉及的是测量电极。表1 中对这三种测量电极的属性分别进行分析，其中“1”代表， “3”代表zui差。该表是在参考目录1至7的内容基础上，加上作者本人经验得出来的。图1分别是离子敏感场效应晶体管(ISFET)探头，玻璃(球形和扁平)探头，和锑探头。