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半导体洗涤用水中的微量无机离子的分析---离子色谱仪

来源:化工仪器网2022/7/21 18:42:26169
导读:

在制造过程中,半导体表面用超纯水清洗,用于去除残余的酸离子,进而避免产生金属腐蚀的现象,因此洗涤用水中的阴离子分析对于产品质量控制至关重要。这需要在几个PPt水平下进行阴离子检测。下图所示的是应用离子色谱仪对半导体洗涤用水中的微量无机离子的分析。

 

分析灵敏度进一步提高 
优良的扩展性和节省空间的设计 
可对应抑制型/非抑制型检测 
支持有效性

 

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