CAT高压泵需要选用其进口的气动隔膜泵，有效的抽吸吸浓酸浓碱，这样不但提高了设备的完好率，降低了设备的修补率，更重要的就是降低了工作的本强，体外循环系统，可有用减少能耗。S04Q10Q
很多潜在的工艺问题均与布局有关。化学机械面化（ChemicalMechanicalPlanarization，CMP）中的凹陷和浸蚀、金属版印刷的光学近似效应（OpticalProximityEffects）、蚀刻负载（EtchLoading）以及许多其他的工艺特性都随着特征密度（FeatureDensity）而改变。过程工艺（ViaProcess）取决于主要层的特性，以及其本身的布局堆栈式（stacked）或非堆栈式（unstacked）。
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