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修复双重图形误差的途径.切割和缝合

来源:江苏新高科分析仪器有限公司2022/7/26 21:27:34332
导读:

双重图形(DP)是指将单层IC版图分解成两个光罩,在此过程中,有许多多边形配置可能会导致违反DP设计规则。其中一些错误可藉由增加多边形之间的间距进行修复。然而有些DP错误,像奇数圈 (odd cycle)的误差,可能难以修复。如果你的版图通过一种类似手术的修正方式,在关键节点进行切割来解决DP错误,那么就会变得非常简单。

这种修正技术称为“切割和缝合”(cutting and stitching),通常只将其称为缝合。让我们来看一下它的工作原理。图中给出了一对无法正确分解成两个光罩的典型版图配置。

左边上面一行显示了一个与其本身有小间距问题的单个多边形。换言之,被高亮显示的小间距在多边形的边缘之间是不允许的,除非多边形的边属于不同光罩。因为所有涉及小间距的多边形的边均位于同一多边形上,所以其必须位于相同的光罩上。修正方案是增加这些间距,这就需要更多的设计区域。左下行显示了一个奇数圈错误。这三个多边形无法拆解成两个光罩,因为用二除三时,一定会存在余数。

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