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1 测量方法 

在单晶硅炉的观察窗外架设一CCD相机，辅以隔热护罩及滤镜，从斜上方对固态晶体与液态融液的交界处形成的光圈进行测量。 

可根据用户的要求定制与控制系统进行数据通讯的接口，如：将监控软件嵌入到组态软件中，或将数据转化成数字或模拟信号传送给控制器。 

2 技术规格 

· 可对4、6、8、12英寸的单晶硅棒进行测量。 
· 可自动对引晶——放肩——收肩——等径过程中的晶体直径进行测量。 
· 可对坩埚中的液面高度进行测量。 
· 可检测晶种（籽晶）与液面的接触状态。 
· 测量精度 0.1 mm。（注：按标准相机配置，采集分辨率1392×1040；可根据用户要求配置相机。） 
· 测量速率：每秒15个数据

软件特色 

1) 可任意增加新的检测品种，只需重新设置参数即可。 
2) 产品配置可保存，程序运行时选择待测产品的型号即可导入其配置参数。 
3) 可手动或自动保存图像，并可设定大保存数。 
4) 可对已保存的图像进行回放，并查看图像处理结果。 
5) 在屏幕上直观的显示检测结果和状态信息，并可在不同的视图显示模式中切换。 
6) 人机界面简单：只需大致调整处理区域并设置少量参数即可。 
7) 参数设置具有密码保护功能。 
8) 自动软键盘，方便触摸屏操作。 
9) 程序界面显示当前产品型号。