安捷伦ICP-MS利用氩等离子体产生的高温使用试样*分解形成激发态的原子和离子，由于激发态的原子和离子不稳定，外层电子会从激发态向低的能级跃迁，因此发射出特征的谱线。通过光栅等分光后，利用检测器检测特定波长的强度，光的强度与待测元素浓度成正比。
安捷伦ICP-MS具有如下优点：
1. 因为ICP光源具有良好的原子化、激发和电离能力，所以它具有很好的检出限。对于多数元素，其检出限一般为0.1～100ng/ml。
2. 因为ICP光源具有良好的稳定性，所以它具有很好的精密度，当分析物含量不是很低即明显高于检出，其RSD一般可在1%以下，好时可在0.5%以下。
3. 因为ICP发射光谱法受样品基体的影响很小，所以参比样品无须进行严格的基体匹配，同时在一般情况下亦可不用内标。
4、ICP光谱仪对多元素同时测定，易可对未知元素进行定性和定量分析。
安捷伦ICP-MS一定要有良好的使用环境
等离子体光谱与其它大型精密仪器一样，需要在一定的环境下运行，失往这些条件，不仅仪器的使用效果不好，而且改变安捷伦ICP-MS的检测性能，甚至造成损坏，缩短寿命。
根据光学仪器的特点，对环境温度和湿度有一定要求。假如温度变化太大，光学元件受温度变化的影响就会产生谱线漂移，造成测定数据不稳定，一般室温要求维持在20～25摄氏度间的一个固定温度，温度变化应小于±1摄氏度。而环境湿度过大，光学元件，特别是光栅轻易受潮损坏或性能降低。
电子系统，尤其是印刷电路板及高压电源上的元件轻易受潮烧坏。湿度对高频发生器的影响也十分重要，湿度过大，轻则等离子体不轻易点燃，重则高压电源及高压电路放电击毁元件，如功率管隔直陶瓷电容击穿，输出电路阻抗匹配、网络中的可变电容放电等，以至损坏高频发生器。
一般室内湿度应小于百分之70，控制在百分之45～60之间，应有空气净化装置。过往由于基建施工，我们的环境条件很差，甚至仪器室多次被水淹，受潮及室温变化过大，仪器不是定位困难就是经常发生故障。
搬到新的仪器室后条件改善了，仪器运行就正常多了。