锦正茂高低温真空探针台技术指标
应用范围:
锦正茂高低温真空探针台高低温真空环境下的芯片测试,材料测试,霍尔测试,电磁输运特性等。
可选附件:
þ 防震桌
þ 多级压缩制冷机
þ 机械泵/分子泵组/离子泵
þ 射频部件
þ 各类型频率真空接头
þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线等…
þ 各类探针夹具
þ Chuck运动装置
þ 电磁铁系统/超导磁铁系统
þ 1Mpa正压系统
þ 超高温升级选件
þ 超高真空升级选件
锦正茂高低温真空探针台技术指标
技术指标:
型号 | T81-50探针台 | T80-50探针台 |
制冷方式 | 液氦/液氮制冷 | 闭循环制冷机 |
腔体材质 | 无磁不锈钢或者铝合金 | |
真空度 | 真空上等高达10-8Pa | |
真空腔观察窗尺寸 | 2inch(可选) | |
控温范围 | 4.2K-450K | 5K-450K |
控温分辨率 | 0.001K控温仪相关 | |
温度稳定性 | 0.1K控温仪相关 | |
降温时间 | 40min | 150min内,视制冷机功率定 |
温度传感器 | 硅二极管、PT100(3个,样品台和探针臂和防辐射屏上各一个) | |
加热电源 | LVDC 低压直流 | |
样品台材质 | 镀金无氧铜 | |
样品台尺寸 | 直径20-50mm,可选100mm | |
样品台平整度 | ≤7μm | |
样品台固定方式 | 固定的样品台(可升级随位移台移动) | |
样品台振动级别 | ≤50纳米 | ≤1μm(三级减震) |
探针臂数量 | 2个、4个、6个、8个可选 | |
探针臂机械精度 | ±12.5mm(可升级±25mm),精度1μm(可选) | |
探针种类 | 钨、铍铜、微波探针(可选高达67GHz的GSG探针) | |
探针调节 | 真空波纹管外部调节,手动控制 | |
放大倍数 | 16~100X/20~4000X | |
显微镜行程 | X、Y平面2*2inch,精度1μm,Z轴行程≥50.8mm | |
电力需求 | 220V 50-60Hz | |
上一篇:全自动过滤器对环保做出的贡献
下一篇:城镇污水处理厂污染物排放标准
版权与免责声明:凡本网注明“来源:亚洲制造网”的所有作品,均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-亚洲制造网合法拥有版权或有权使用的作品,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的,应在授权范围内使用,并注明“来源:亚洲制造网”。违反上述声明者,本网将追究其相关法律责任。 本网转载并注明自其它来源(非亚洲制造网)的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或和对其真实性负责,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品第一来源,并自负版权等法律责任。 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。
展开全部