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产品简介
VPS-QZ05石英真空等离子处理仪是一款针对实验室需要专门开发的小型台式等离子清洗机，处理室为圆筒形石英玻璃，处理器为电容耦合外电极型，内部无电极。即放电能量从处理器外部施加，可以避免电极的腐蚀和反应物在极板沉积的问题。
VPS-QZ05石英真空等离子处理仪应用：PDMS键合、引入特定官能团、等离子灰化、表面亲疏水改性、提高粘接性
VPS-QZ05石英真空等离子处理仪特点：处理过程中不会引入污染物、操作简单、适合于研究院、高校、研发中心使用
产品参数
型号 | VPS-QZ05 |
频率 | 13. 56 MHz |
功率 | 0-200W连续可调 |
腔体材质 | 优质石英 |
腔体容积 | 5L |
腔体尺寸 | Φ150×290（D）mm |
气体流量控制器 | MFC 质量流量控制器 |
气路数量 | 2 路气体，常用O2、Ar2、N2，H2、等（腐蚀性气体需定制） |
真空测定系统 | 皮拉尼真空硅管 |
极限真空度 | 1Pa |
控制方式 | PLC+4.3寸触摸屏 |
真空泵 | 油泵/干泵（选配） |
电源供应 | AC220V/50Hz |
外形尺寸 | 550mm(L)×450mm(W) ×500 mm(H) |
