直驱机构式压电纳米定位台
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哈尔滨芯明天科技有限公司
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P78.Z100Sk 压电纳米定位台
P78.Z100Sk 压电纳米定位台是一维Z向运动的纳米定位台，它的行程可达200μm，中心具有φ25mm通孔，适用于透射光应用。
产品特点
Z向运动，行程达200μm
可正向、卧式或倒置使用
可定制真空版本
产品应用
表面检测
显微成像统结构搭建
干涉
半导体加工与测试
真空环境
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Z向运动，行程达200μm