数字式质量流量控制器产品特点

测量质量流量

无需温度和压力补偿

结构紧凑

精度高

工作压力高

响应时间快

重复性高

数字式质量流量控制器技术参数

量程范围：5SCCM-1500SLPM

精度：±1%满量程

量程比：50：1

重复性：<0.2%读数

操作温度：-10~50℃

泄露率：< 2 x 10-9mbar l/s He

预热时间：标准30min

压力等级：3MPa;10MPa

接液材质：316L

密封材质：标准Viton，可选EPDM、Kalrez

防护等级：IP40

供电电源：+15~24VDC

电流：70mA

模拟量输出信号：0-5VDC；4-20mA；0-10VDC

数字输出信号：无

电气接口：标准DB9 M

过程接口尺寸：可选

数字式质量流量控制器订货参数

气体种类

量程范围（标准状态下量程）

使用压力

入口压力

使用温度

精度要求

输出信号

过程接口尺寸